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光学仪器及设备
Norcada电镜原位偏压加热系统
NenoVision原位原子力显微镜LiteScope
filmetrics台式膜厚测试仪F20
nGauge便携式原子力显微镜
MVI散射式扫描近场光学显微镜
高分辨可视化单分子操纵的荧光显微镜光镊
MVI原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统
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安捷伦桌面场发射台式扫描电镜8500
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KLA Gemini压痕力学测试系统
KLA纳米压痕原位力学测试模块NanoFlip
NMI iNano桌面式纳米压痕
NMI iMicro桌面式微米压痕原位力学
KLA纳米压痕仪Nano Indenter G200
FemtoTools纳米机械手
FemtoTools微纳力学、机械性能测试,微纳操纵系统
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LUMINA光学表面缺陷分析仪
KLA-Tencor先进的探针式台阶仪
白光共轭焦轮廓仪
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Kosaka小板台阶仪ET200
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SURFACE超高真空PLD激光镀膜系统
物理基础教学计算机控制教学三维演示系统
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MVI Vista-IR纳米红外成像与光谱
纳米easy peak拉曼增强衬底(SERS)
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BI-2500小型台式表面等离子体共振仪
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IKOsizer粒度仪
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日本原装AVT系列防震平台
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相关仪表
SHNTI-5510自吸附胶盒
测厚仪
FR便携式膜厚测定仪
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InnvoX台式/便携式X射线衍射仪
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清洗/消毒设备
紫外臭氧清洗仪
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产品系列
HOLITH界面光刻技术----“纳米压印友好伴侣”
HOLITH界面光刻装置使用两束干涉激光在光界面上形成周
期性光栅和点/孔图案。 HOLITH纳米成像系统具有新型力
学,光学和电学设计,可在200nm-2μm的周期性范围内于4
英寸晶片上做出纳米结构图案,图案*小形貌可低50nm。
***的HOLITH**技术可使用户仅通过简单的鼠标点击操
作便能作出100nm以下尺寸的高品质高均一性线性光栅和
2D/3D图像。在HOLITH界面光刻装置中无需使用遮罩和模
具。
优势:
· 无遮罩过程:低成本、多功能、可伸缩
· 计算机系程序自动化光学结构和排列控制
· 简单操作,无需光学培训
· 相比遮罩定位器系统成本更低
· 200nm范围内具有高分辨率
· *低特征尺寸小于50nm
· 无需遮罩及模具
· 可以制作大面积2D/3D纳米压印模具(4/6英寸)
· 可以操作不平整晶片
· 周期精度:<+-2.5%
· All-fiber-optic setup replacing free-
space optical components
· Special optical fiber delivers light from laser · Fiber-optic beam splitter splits the laser beam into two coherent beams · Output port of the fiber performs spatial filtering · Close-loop feedback control stabilizing interference pattern 低成本、不受环境因素干扰,使自动化成为可能:自由改变入射角度调整模式周期。 Holith 纳米图案化结构
应用:
能源
· 太阳能电池抗反射结构
· 太阳能电池光子操纵
· LEDs灯管中的光提取
· 图案化蓝宝石基板(PSS)
光学器件
· 1-D和2-D光栅光谱
· 大范围等离子体结构
· 光子晶体
· 超颖表面
· 高对比度光栅过滤器和反射器
· 亚波长和衍射光学器件
·计量光栅
·结构化的颜色
材 料
· 超疏水/亲水表面
· 诱导自组装
· 表面增强拉曼荧光
· 生物医学传感器
纳米装配
·纳米压印磨具装配
·先进纳米装配过程开发