手机版 |
产品分类 |
光学仪器及设备
Norcada电镜原位偏压加热系统
NenoVision原位原子力显微镜LiteScope
filmetrics台式膜厚测试仪F20
nGauge便携式原子力显微镜
MVI散射式扫描近场光学显微镜
高分辨可视化单分子操纵的荧光显微镜光镊
MVI原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统
光学/探针显微镜
激光共聚焦显微镜
安捷伦桌面场发射台式扫描电镜8500
比表面积测定仪
KLA高温原位纳米压痕仪I nSEM HT
KLA Gemini压痕力学测试系统
KLA纳米压痕原位力学测试模块NanoFlip
NMI iNano桌面式纳米压痕
NMI iMicro桌面式微米压痕原位力学
KLA纳米压痕仪Nano Indenter G200
FemtoTools纳米机械手
FemtoTools微纳力学、机械性能测试,微纳操纵系统
光谱检测分析仪
MVI Vista-IR纳米红外成像与光谱
纳米easy peak拉曼增强衬底(SERS)
拉曼增强试剂(SERS基底)
光纤光谱仪
多功能光纤干涉教学实验仪
测量/计量仪器
LUMINA光学表面缺陷分析仪
KLA-Tencor先进的探针式台阶仪
白光共轭焦轮廓仪
激光扫描轮廓仪
Kosaka小板台阶仪ET200
其他
HP 1510智能微波消解仪
SURFACE超高真空PLD激光镀膜系统
物理基础教学计算机控制教学三维演示系统
NGD-01型自动凝固点测定仪
MPD-01型金属相图测定仪
分子生物学仪器
SPRm 200表面等离子体共振显微镜
BI-2500小型台式表面等离子体共振仪
BI-4500表面等离子体共振仪
氧化铝纳米多孔膜
制样/消解设备
全息纳米光刻图案化平台
高分辨率纳米压印模板
纳米压印胶
Imprint Nano纳米压印
半导体行业专用仪器
Elionix离子束刻蚀系统
Elionix电子束曝光系统
美国Cascade EPS探针台
激光粒度仪
IKOsizer便携式粒度仪
IKOsizer粒度仪
清洗/消毒设备
紫外臭氧清洗仪
实验室家具
日本原装AVT系列防震平台
试验机
Agilent UTM T150纳米拉伸试验机
相关仪表
SHNTI-5510自吸附胶盒
测厚仪
FR便携式膜厚测定仪
X射线仪器
InnvoX台式/便携式X射线衍射仪
成像系统
声镊谱仪
联系方式 |
产品系列
nGauge原子力显微镜作为世界上**台单芯片(Single-Chip)AFM,是加拿大滑铁卢大学(DARPA联合项目)近十年的研发成果。Single-Chip技术通过CMOSMEMS工艺将AFM的所有组件(精细XYZ运动和纳米级感测)集成到单个1mm x 1 mm的芯片上,减少了对大功率及垂直检测激光对准设备的需求,极大提升了设备自身的抗震性能、扫描速率、扫描精度,实现经济、高效、便捷的原子力扫描。
nGauge原子力显微镜应用于材料科学、生物学、物理学、数据储存、半导体、高分子聚合物等领域的纳米科学研究。nGauge也不断致力于SMM、SThM等新技术的研发。
nGauge应用原理
传统AFM通常使用硅悬臂上有尖锐尖端的探针。激光束映射到悬臂的背面第四象限光电探测器上,用来测量任何悬臂的微小位移。当压电XY平面光栅在X和Y轴扫描样品时,压电的Z扫描器控制探针高度。
sc-AFM(Single-Chip AFM)几乎以与传统AFM极其相近的方式运行,**不同的是它所有的组成部件都整合在一个薄片上。薄片是用世界上***的制造程序来制造出的一个微小的MEMS驱动,在一个1*1mm的硅片上的超精密的扫描器和传感器。sc-AFM包括悬臂和尖锐尖端,整合的压电传感器替代激光来测量尖端位移。针尖和传感器依附于MEMS扫描器上,且可以在XYZ轴定位,完成次纳米级测量。
nGauge产品参数
Maximum Scan Range(XYZ) | 15*15*10um | Scan Speed | >8 lines/Second |
XY Scanner Resolution | <0.5nm | Feedback Controller | PID |
XYZ Actuation | Electrothermal | System Dimensions | 70mm*90mm*75mm |
Sensor | Piezoresistive | Stage Area | 70mm*43mm |
Dynamic RMS noise | <1nm | Z Stage Travel | 20mm |
Resonant Frequency of Cantilever | 8-9kHz | Force Curve | Dynamic |
Tip Radius | <80nm | Open Source | Yes |
Imaging Mode | Intermittent Contact | OS requirements | Windows,OSX |
nGauge图像表征
nGauge AFM 可以在诸多领域进行成像,覆盖了生命科学、半导体材料、有机高分子等在内的许多学科。以下是本产品对不同样品的表征结果
**芯片(Single-Chip)
AFM的芯片是一种cms - mems器件,大小约1.2 x0.8x0.3 mm,它包括一些电热执行器,一个带有尖端的悬臂,以及测量尖端偏转的压电式应变传感器。传动装置是双晶型和V型执行机构的组合,由电阻式加热器提供动力,并通过弯曲的方式将其与三自由度和亚纳米精度的尖端相连接。在XY方向上分别有两个执行器互相作为热耦合的补偿来保证这两个方向的平稳,*终针尖能够探测足够的精确的Z方向的高度。